一、产品基础信息

1. 配方原料：长链高纯 PFPE 全氟聚醚基础油 + 可溶性氟系 XP 抗磨防锈复合添加剂，不含矿物油、硅油、碳氢、重金属杂质

2. 外观：浅琥珀色透明液体，无异味，长期存放轻微变色不影响真空与防腐性能

3. 产品定位：VPF 系列高粘度重载型半导体氟化真空泵油，XP 配方自带抗磨防锈；国产平替进口 产品，相比 P-1506XP、P-1514XP 粘度最高、饱和蒸气压最低、油膜承载力最强，适配重载、高温、超高真空腐蚀工况

4. 储存保质期：密封未开封 3 年；开封接触水汽后建议 6 个月内用完

二、核心理化参数

表格

三、五大核心性能优势

1. 行业超低饱和蒸气压，杜绝晶圆 / 光学污染分子链最长，挥发分远低于 1506XP、1514XP，高真空腔体长期运行无油蒸汽返流、无析出，不会污染芯片、光学镜片，适配百级 / 千级无尘半导体车间、高端精密镀膜设备。

2. XP 双重防护，重载泵长效防锈抗磨专用氟系可溶性添加剂，真空泵叶片、轴承高负载运转磨损大幅降低；潮湿水汽、酸碱废气工况形成致密隔离防锈膜，隔绝泵体锈蚀，换油周期相比普通无添加 PFPE 油延长 2~3 倍。

3. 极致化学惰性，耐受强腐蚀制程不与蚀刻强酸强碱、氟气、氯气、等离子、锂电电解液有机溶剂发生反应，长期高温运行无油泥、无积碳、无分解，适配半导体腐蚀工艺、强腐蚀化工真空机组。

4. 超高粘度厚油膜，适配重载大流量真空泵同 VPF 系列承载力最强，高温工况不易流失、极限真空长期稳定不衰减，适合大型油封氟化真空泵、扩散泵、重载腐蚀真空机组。

5. 宽温稳定，高低温启停无压力-30℃低温环境泵体启动阻力小；196℃连续高温运行挥发损耗极低，冷热冲击、间歇启停工况真空度无明显衰减。

四、适用行业与设备场景

1. 半导体晶圆制造

PVD/CVD 镀膜机、等离子蚀刻机、离子注入设备、晶圆腐蚀清洗真空机组、大型扩散泵、重载油封氟化真空泵。

2. 光学精密镀膜

高端镜头真空蒸镀、科研超高真空分析仪器、电子扫描显微镜、光学镀膜机主真空泵。

3. 化工强腐蚀真空设备

强酸碱蒸馏真空机组、氟化物 / 氯气回收真空泵、电镀腐蚀真空槽配套大型泵体、氟化介质隔离密封。

4. 新能源锂电行业

锂电池高温真空烘烤、注液、化成重载真空机组，耐受锂电电解液有机溶剂腐蚀。

5. 航空航天 / 核工业真空测试

高低温真空环境试验箱、氧气系统真空密封泵、太空模拟真空设备、铀化物浓缩真空机组。

五、使用禁忌与注意事项

1. 严禁混用：不可与矿物真空泵油、普通硅油、无添加 PFPE 基础油、其他型号 XP 氟油混合，混用会破坏 XP 防锈抗磨添加剂体系，润滑、防锈、真空性能直接失效；更换油品前需排空旧油并彻底清洗泵腔。

2. 温度限制：不可长期持续运行温度超过 196℃，高温会加速 XP 添加剂消耗，缩短油品使用寿命。

3. 活泼金属限制：避免长期接触金属钠、钾等强还原性碱金属，会产生轻微化学反应。

4. 食品医药场景：含功能性 XP 防锈抗磨添加剂，不推荐用于直接接触食品、药品的工况；食品级真空场景选用无添加 VPF 基础款。

六、包装规格

小样：50g/100g 金属分装瓶；标准工业装：1L 密封金属瓶；大包装：5kg/20kg 密封铁桶，支持定制小批量分装试样。