一、产品基础定位

品牌：全氟王 PFPEKING

型号：P-VPF 1506

产品类型：高纯蒸馏级全氟聚醚真空专用润滑油，无醛类易分解基团，无硫、硅、金属活性添加剂，单一组分惰性氟油

核心定位：专为高真空、半导体制程、氧化 / 腐蚀特种气体工况研发，低蒸气压、极低高温挥发，适配真空泵循环润滑，可接触氧气、卤素、强酸介质无反应风险，兼顾食品偶然接触合规性

二、标准理化参数

1. 40℃运动粘度：60 mm²/s

2. 23℃密度：1.86 g/mL

3. 倾点：-51℃，低温不凝固、泵体启动无卡顿

4. 长期连续使用温域：-51℃ ~ 179℃

5. 分子组分：仅碳、氟、氧饱和结构，不含氢、氯、易水解基团，抗路易斯酸腐蚀

6. 外观：清澈透明无味液态，无杂质、无析出物

7. 安全特性：无闪点、不可燃；纯惰性介质，接触液氧、强氧化剂无爆燃风险

8. 真空性能：深度蒸馏提纯，饱和蒸气压极低，高温真空环境出气量微小

9. 耐介质：不溶于强酸、强碱、酮醇、烃类、卤素硅烷特种工艺气体；不腐蚀金属、不溶胀各类弹性体与工程塑料

10. 合规资质：通过食品偶然接触安全认证，无有毒迁移析出

三、产品核心优势

1. 耐强酸特种分子结构，适配半导体腐蚀工艺

不含易被路易斯酸侵蚀的缩醛基团，在含氟、硅烷、卤素等离子刻蚀、薄膜沉积设备中长期稳定，不会分解产生杂质污染腔体，大幅延长真空泵换油周期。

2. 超低蒸气压，高真空腔体洁净无油污污染

多级精密蒸馏提纯，挥发损耗远低于普通通用 PFPE 油，镀膜、热处理真空炉、氦检设备运行不会产生油雾附着晶圆、工件，减少腔体清洗频次，提升产品良率。

3. 氧气系统安全惰性，氧化工况无起火隐患

无任何可与氧化剂反应的活性添加剂，制氧设备、高压氧气管路配套真空泵、阀门润滑无燃爆风险，替代矿物真空泵油杜绝火灾隐患。

4. 宽温稳定，冷热交变泵体长效运行

低温 - 51℃流动性优异，低温测试真空机组开机无阻力；179℃持续高温不碳化、不结焦、不产生油泥，泵腔内部无积碳堵塞油路。

5. 全材质广谱兼容，不损伤设备基材

适配不锈钢、铝合金、铜合金、碳钢；EPDM、氟橡胶、硅胶、POM/PA/ABS 等塑胶密封件，不会造成溶胀、发白、开裂老化，保护真空泵油封、管路密封圈。

6. 可回收循环使用，降低综合运维成本

分子结构稳定，过滤去除粉尘杂质后可重复回用，废弃处理无有害污染物，适配大批量半导体产线长期降本需求。

四、标准应用场景

1. 半导体真空制程设备（主力场景）

等离子刻蚀机、薄膜沉积镀膜机、氦检检漏仪、热处理真空炉、分子泵配套前级真空泵循环介质，抵御硅烷、卤素腐蚀性工艺气体。

2. 氧气、特种氧化气体设备

制氧机组真空泵、液氧输送配套真空系统、高压氧气调压阀润滑，规避氧化介质起火风险。

3. 化工强腐蚀真空工况

酸碱反应釜真空机组、电镀防腐真空设备、卤素化学品回收真空泵，长期耐受腐蚀性蒸汽。

4. 食品加工真空设备

食品冻干机、真空包装机组、食品热处理真空腔体，满足食品偶然接触安全标准。

5. 工业精密低温真空仪器

高低温测试箱真空系统、实验室分析真空设备、户外低温检测仪器真空泵润滑。

五、使用工艺规范

1. 加注方式：直接作为真空泵循环介质加注，适配旋片泵、干式前级泵、扩散泵；也可用于真空阀门、腔体滑轨滴涂润滑。

2. 混用禁忌：严禁与矿物真空泵油、硅油、普通润滑脂混合，混合后会大幅提升挥发量、丧失惰性安全性能。

3. 腔体清洁要求：换油前需彻底排空原有油品并清洗泵腔，保证仅留存本品单一介质，避免交叉污染。

4. 温度边界：持续高于 179℃不间断高温工况，选用更高耐温真空专用 PFPE 油品。

六、常规包装规格

1. 试样小装：100ml、500ml、1L 氟化密封瓶

2. 工业量产桶装：5kg、20kg 专用氟化金属桶

3.