一、产品基础定位

品牌：全氟王 PFPEKING

型号：P-VPF 1514

产品类型：多级深度蒸馏高纯全氟聚醚真空专用润滑油，无缩醛易腐蚀基团、无硅 / 硫 / 金属活性添加剂，单一饱和惰性 PFPE 分子体系

核心定位：高粘度低蒸气压真空介质，面向高洁净半导体腐蚀制程、高压氧气真空系统、高温连续真空设备；相比同系列低粘度型号，油膜承载力更强、真空出气量更低、高温稳定周期更长，同时具备食品偶然接触安全合规属性

二、标准理化参数

1. 20℃运动粘度：140 mm²/s

2. 50℃运动粘度：32 mm²/s

3. 23℃密度：1.83 g/mL

4. 倾点：-55℃，低温泵体启动无卡顿、流动性稳定

5. 长期连续使用温域：-55℃ ~ 230℃

6. 分子结构：仅碳、氟、氧饱和分子，不含易被路易斯酸侵蚀的缩醛基团，耐卤素、硅烷等离子气体腐蚀

7. 外观：清澈透明无味液态，无杂质、无析出、无游离颗粒

8. 真空性能：20℃饱和蒸气压低至 2×10⁻⁷ torr，高温真空环境挥发损耗极低

9. 安全特性：无闪点、不可燃；纯惰性介质，接触液氧、强氧化剂无爆燃反应风险

10. 耐介质：不溶于强酸强碱、酮醇烃类、卤素、硅烷特种工艺气体；不腐蚀各类金属，不溶胀 EPDM、氟橡胶、硅胶、工程塑料密封件

11. 合规资质：通过食品偶然接触安全认证，无有毒迁移析出，可用于食品冻干真空机组

12. 附加特性：过滤除杂后可回收循环复用，降低产线运维成本

三、P-VPF 1506 与 P-VPF 1514 核心区分

四、产品核心优势

1. 耐腐蚀稳定分子，适配严苛半导体等离子制程

分子去除易被路易斯酸破坏的缩醛结构，长期接触氟化物、硅烷、卤素等离子工艺气体不会分解产生杂质，不会污染晶圆腔体，大幅延长真空泵换油周期，适配离子注入、干法刻蚀等高腐蚀工序。

2. 更低饱和蒸气压，高真空腔体洁净度拉满

多级精密蒸馏提纯，蒸气压低于同系列低粘度油品，高温连续运行几乎无油雾析出，不会附着工件、腔体内壁，减少设备拆机清洗频次，提升芯片、镀膜产品良率。

3. 高粘度厚油膜，重载高温泵长效耐磨

高粘度可形成稳定承压润滑膜，适配大功率旋片泵、扩散泵、热处理高温真空机组，230℃持续高温不液化流失、不碳化结焦，泵腔内部无积碳堵塞油路，轴承磨损显著降低。

4. 氧气工况绝对安全，杜绝起火爆炸隐患

无任何可与氧化剂反应的活性组分，配套制氧机组、液氧输送真空系统、高压氧气调压阀润滑，完全规避矿物真空泵油遇氧化介质起火风险。

5. 超宽温域稳定，冷热交变设备无故障运行

低温 - 55℃流动性优异，冬季低温测试真空机组开机无阻力；230℃极限高温连续运行不失效，适配冷热循环真空老化测试设备。

6. 全材质兼容，保护泵体密封组件

适配不锈钢、铝合金、铜合金、碳钢；氟橡胶、EPDM、硅胶、POM/PA 密封件，不会造成溶胀、发白、硬化开裂，延长真空泵油封、管路密封圈使用寿命。

7. 食品级安全可循环，降低产线综合成本

满足食品偶然接触安全标准，适用于冻干、真空包装食品设备；油品分子稳定，过滤去除粉尘杂质后可回收二次使用，大幅减少耗材采购与危废处理支出。

五、标准应用场景

1. 半导体高腐蚀真空制程（主力场景）

离子注入机、干法等离子刻蚀设备、高温薄膜沉积镀膜机、大功率热处理真空炉、氦检检漏仪重载真空泵循环介质，抵御硅烷、卤素腐蚀性工艺气体。

2. 氧气、高压氧化气体配套真空设备

制氧机组真空泵、液氧输送真空管路、高压氧气调压阀润滑，消除氧化介质燃爆隐患。

3. 化工高温强腐蚀真空工况

高温酸碱反应釜真空机组、卤素化学品回收真空泵、电镀防腐高温真空设备，长期耐受高温腐蚀蒸汽。

4. 食品加工真空设备

食品冻干机、高温真空杀菌机组、真空包装产线，符合食品接触安全要求。

5. 工业高温精密真空仪器

230℃真空老化测试箱、实验室高温分析真空设备、户外高低温交变检测真空机组。

六、使用工艺规范

1. 加注方式：直接作为旋片泵、扩散泵、前级真空泵循环介质加注；也可用于高温真空阀门、腔体滑轨滴涂润滑。

2. 混用禁忌：严禁与矿物真空泵油、普通硅油、锂基润滑脂混合，混合后蒸气压大幅上升、丧失惰性与氧气安全性能。

3. 腔体预处理：更换油品前彻底排空原有介质并清洗泵腔，仅留存本品单一介质，避免交叉污染破坏真空洁净度。

4. 温度边界：持续高于 230℃不间断超高温工况，选用专用超高温系列真空 PFPE 油品。

5.