一、产品基础定位

品牌：全氟王 PFPEKING

型号：P-VPF 1531

产品类型：多级深度蒸馏超高粘度高纯全氟聚醚真空专用润滑油，无缩醛易腐蚀基团、无硅 / 硫 / 金属活性添加剂，单一饱和惰性 PFPE 分子体系

核心定位：VPF 系列旗舰高粘度真空介质，饱和蒸气压极低、高温油膜承载力拉满，面向 280℃极限高温、超大功率重载真空泵、半导体强腐蚀等离子制程、高压氧气真空系统；具备食品偶然接触安全合规，长期不间断量产产线使用，挥发污染最小、耐磨维护周期最长

二、标准理化参数

1. 20℃运动粘度：310 mm²/s

2. 100℃运动粘度：12.5 mm²/s

3. 23℃密度：1.85 g/mL

4. 倾点：-48℃，低温泵启动无卡顿，冷态流动性稳定

5. 长期连续使用温域：-48℃ ~ 280℃

6. 分子结构：仅碳、氟、氧饱和分子，剔除易被路易斯酸侵蚀的缩醛基团，稳定耐受氟化物、硅烷、卤素等离子腐蚀工艺气体

7. 外观：清澈透明无味液态，无杂质、无游离颗粒、无析出物

8. 真空性能：20℃饱和蒸气压低至 1×10⁻⁷ torr，高温真空环境出气量微乎其微，腔体洁净度优异

9. 安全特性：无闪点、不可燃；纯惰性介质，接触液氧、强氧化剂无爆燃反应风险

10. 耐介质：不溶于强酸强碱、酮醇烃类、卤素、硅烷特种工艺气体；不腐蚀各类金属，不溶胀 EPDM、氟橡胶、硅胶、工程塑料密封件

11. 合规资质：通过食品偶然接触安全认证，无有毒迁移析出，适配食品高温冻干真空机组

12. 附加特性：过滤除杂后可回收循环复用，大幅降低产线耗材与危废处理成本

三、P-VPF 全系列型号核心区分

四、产品核心优势

1. 耐路易斯酸稳定分子，适配半导体极致严苛等离子制程

分子不含易被路易斯酸破坏的缩醛结构，280℃高温下长期持续接触氟化物、硅烷、卤素等离子工艺气体不会分解产生杂质，不会污染晶圆与腔体，真空泵换油周期大幅延长，适配干法深度刻蚀、离子注入、高温薄膜沉积等高腐蚀核心工序。

2. 极低饱和蒸气压，超高真空腔体洁净无油污污染

多级精密蒸馏提纯，蒸气压保持全系最低一档，280℃长期高温连续运行几乎无油雾析出，不会附着工件、腔体内壁，大幅减少设备拆机清洗频次，稳定提升芯片、镀膜产品良率。

3. 310cst 超高粘度厚重承压油膜，280℃高温重载长效耐磨

超高粘度形成高强度稳定润滑膜，适配超大功率旋片泵、扩散泵、热处理高温真空机组，280℃持续高温不液化流失、不碳化结焦、不产生油泥堵塞油路，泵腔滑片、轴承磨损显著降低，设备运维周期翻倍延长。

4. 氧气工况完全惰性，彻底杜绝起火爆炸隐患

无任何可与氧化剂反应的活性组分，配套制氧机组、液氧输送真空系统、高压氧气调压阀润滑，完全规避矿物真空泵油遇氧化介质起火风险，适配富氧、液氧特种安全工况。

5. 超宽温域稳定，冷热交变设备无故障长效运行

低温 - 48℃流动性优异，冬季低温测试真空机组开机无阻力；280℃极限高温连续运行不失效，适配冷热循环真空老化测试设备、7×24 小时不间断量产真空产线。

6. 全材质广谱兼容，全面保护泵体密封组件

适配不锈钢、铝合金、铜合金、碳钢；氟橡胶、EPDM、硅胶、POM/PA 密封件，不会造成溶胀、发白、硬化开裂，延长真空泵油封、管路密封圈使用寿命。

7. 食品级安全可循环，大幅降低产线综合运维成本

满足食品偶然接触安全标准，适用于高温冻干、真空杀菌、真空包装食品设备；油品分子结构高度稳定，过滤去除粉尘杂质后可回收二次使用，减少耗材采购支出。

五、标准应用场景

1. 半导体超高腐蚀极限高温真空制程（主力场景）

离子注入机、干法等离子深度刻蚀设备、280℃高温薄膜沉积镀膜机、大功率连续式热处理真空炉、氦检检漏仪重载真空泵循环介质，长效抵御硅烷、卤素腐蚀性工艺气体。

2. 氧气、高压氧化气体配套真空设备

制氧机组大功率真空泵、液氧输送真空管路、高压氧气调压阀润滑，消除氧化介质燃爆隐患。

3. 化工 280℃高温强腐蚀真空工况

高温酸碱反应釜真空机组、卤素化学品回收真空泵、电镀防腐高温真空设备，长期耐受高温腐蚀蒸汽。

4. 食品加工高温真空设备

高温食品冻干机、真空杀菌机组、连续式真空包装量产产线，符合食品接触安全要求。

5. 工业极限高温精密真空仪器

280℃真空老化测试箱、实验室高温分析真空设备、户外高低温交变检测真空机组、重型真空腔体阻尼调节机构。

六、使用工艺规范

1. 加注方式：直接作为旋片泵、扩散泵、前级真空泵循环介质加注；也可用于高温真空阀门、腔体滑轨滴涂润滑。

2. 混用禁忌：严禁与矿物真空泵油、普通硅油、锂基润滑脂混合，混合后蒸气压大幅上升、丧失惰性与氧气安全性能。

3. 腔体预处理：更换油品前彻底排空原有介质并清洗泵腔，仅留存本品单一介质，避免交叉污染破坏真空洁净度。

4. 温度边界：持续高于 280℃不间断超高温工况，选用专用超高温系列真空 PFPE 油品。

5.