一、产品基础定位

品牌：全氟王 PFPEKING

型号：P-VPF 16256

产品类型：多级超高纯度深度蒸馏超高分子量全氟聚醚真空专用润滑油，无缩醛易腐蚀基团、无硅 / 硫 / 金属活性添加剂，单一饱和惰性 PFPE 分子体系

核心定位：VPF 系列旗舰超超高粘度真空介质，拥有全系最低饱和蒸气压，腔体出气量近乎零；油膜附着力、高温承载力行业顶尖，面向超高洁净度超高端半导体制程、超高真空实验室设备、液氧 / 强氧化特种工况、长周期不间断高温真空产线，具备食品偶然接触安全合规属性，设备维护周期远超同系列其他型号

二、标准理化参数

1. 20℃运动粘度：2560 mm²/s

2. 100℃运动粘度：64.6 mm²/s

3. 23℃密度：1.87 g/mL

4. 倾点：-32℃，低温工况无凝固、泵体启动顺滑无卡顿

5. 长期连续使用温域：-32℃ ~ 290℃

6. 分子结构：仅碳、氟、氧饱和分子，剔除易被路易斯酸侵蚀的缩醛基团，长期稳定耐受氟化物、硅烷、卤素等离子强腐蚀工艺气体

7. 外观：清澈透明无味液态，无杂质、无游离颗粒、无析出物，储存无分层变质

8. 真空性能：20℃饱和蒸气压低至 3×10⁻¹⁴ torr，全系最低挥发损耗，超高真空腔体几乎无油雾污染

9. 安全特性：无闪点、不可燃；纯惰性介质，接触液氧、臭氧、强氧化剂无爆燃反应风险，氧化工况安全等级最高

10. 耐介质：不溶于强酸强碱、酮醇烃类、卤素、硅烷特种工艺气体；不腐蚀各类金属，不溶胀 EPDM、氟橡胶、硅胶、工程塑料密封件

11. 合规资质：通过食品偶然接触安全认证，无有毒迁移析出，适配高端食品真空冻干、无菌真空包装设备

12. 附加特性：过滤去除粉尘杂质后可回收循环复用；未开封常温储存保质期无时限，长期存放性能无衰减

三、P-VPF 全系列型号核心区分

四、产品核心优势

1. 耐路易斯酸稳定分子，适配芯片高端等离子精密制程

分子不含易被酸性等离子体破坏的缩醛结构，290℃高温下长期持续接触氟化物、硅烷、卤素工艺气体不会分解生成杂质，杜绝晶圆、腔体污染，真空泵换油周期大幅延长，适配先进制程干法刻蚀、离子注入、薄膜沉积等高精密工序。

2. 全系极致低饱和蒸气压，超高真空腔体零油污污染风险

多级超高精度蒸馏提纯，饱和蒸气压比同系列其他型号低 7 个数量级，290℃长期高温连续运行几乎无挥发油雾析出，不会附着工件、腔体内壁，大幅减少设备拆机清洗频次，稳定提升高端芯片、光学镀膜产品良率。

3. 2560cst 超超高粘度厚重承压油膜，290℃高温长效耐磨不流失

超高分子量带来极强油膜附着力与承载能力，适配超大功率旋片泵、扩散泵、连续式热处理高温真空机组，290℃持续高温不液化流淌、不碳化结焦、不产生油泥堵塞油路，泵腔滑片、轴承磨损降至最低，设备运维周期翻倍延长。

4. 全惰性安全配方，液氧 / 强氧化工况彻底规避燃爆隐患

无任何可与氧化剂反应的活性组分，配套液氧输送真空系统、高压氧气调压阀、臭氧反应真空设备润滑，完全杜绝矿物真空泵油遇氧化介质起火爆炸风险，适配航天、特种化工富氧工况。

5. 超宽温域稳定，冷热交变设备长效免维护运行

低温 - 32℃流动性稳定，低温真空机组开机无阻力；290℃极限高温连续运行不失效，适配冷热循环真空老化测试设备、全年不间断高端真空量产产线。

6. 全材质广谱兼容，全方位保护泵体密封组件

适配不锈钢、铝合金、铜合金、特种碳钢；氟橡胶、EPDM、硅胶、POM/PA 密封件，不会造成溶胀、发白、硬化开裂，大幅延长真空泵油封、管路密封圈使用寿命。

7. 超长储存寿命 + 可循环回收，大幅降低综合运维成本

未开封常温存放性能永久稳定，无变质损耗；油品分子结构高度稳定，过滤去除粉尘杂质后可多次回收二次使用，减少耗材采购与危废处理支出，适配高端实验室、大型半导体工厂长期降本需求。

五、标准应用场景

1. 高端半导体超高洁净真空制程（主力场景）

先进制程干法等离子深度刻蚀设备、离子注入机、290℃高温薄膜沉积镀膜机、连续式大功率热处理真空炉、超高精度氦检检漏仪循环介质，长效抵御硅烷、卤素腐蚀性工艺气体。

2. 液氧、高压氧化气体配套特种真空设备

航天供氧真空管路、液氧输送配套真空泵、高压氧气调压阀、臭氧反应真空机组润滑，消除氧化介质燃爆隐患。

3. 化工 290℃超高温强腐蚀真空工况

高温强酸强碱反应釜真空机组、卤素特种化学品回收真空泵、电镀防腐高温真空设备，长期耐受高温腐蚀蒸汽。

4. 高端无菌食品加工真空设备

高端医药冻干机、无菌真空杀菌机组、精密真空包装量产产线，符合食品偶然接触安全要求。

5. 实验室超高真空精密仪器

290℃真空老化测试箱、科研级高温分析真空设备、户外高低温交变超高真空检测机组、重型真空腔体阻尼调节机构、光学镀膜超高真空系统。

六、使用工艺规范

1. 加注方式：直接作为旋片泵、扩散泵、科研级前级真空泵循环介质加注；也可用于超高温真空阀门、腔体滑轨滴涂润滑。

2. 混用禁忌：严禁与矿物真空泵油、普通硅油、锂基润滑脂混合，混合后蒸气压大幅上升、丧失惰性与氧气安全性能。

3. 腔体预处理：更换油品前彻底排空原有介质并清洗泵腔，仅留存本品单一介质，避免交叉污染破坏超高真空洁净度。

4. 温度边界：持续高于 290℃不间断超高温工况，选用专用超高温系列 PFPE 油品。

5.